电子特气系统工程

电子特气系统工程：燃爆毒腐类的气体统称为电气特气，特气管道系统 Special Gas Pipeline System 是指SiH4，NF3，Cl2 等一些具有高危险性，微电子、半导体、光伏、LED、TFT_LCD、光纤、科研院等行业的客户在工艺制程中会使用到易燃易爆/有毒有害/腐蚀性等各类特种气体应确保安全性的特气。

特气供气系统就是把各种特种气体在满足工艺制程要求的纯度、压力和流量的前提下安全稳定的供应到工艺设备内。