毒腐/易爆废气处理系统

实验室设备特气废气处理：可燃性、毒性气体无害化的处理设备；分为燃烧式、加热分解式、湿式、触媒式等离子、分解式、吸着式等。

一．主要特点

1. 独立燃烧方式，完全燃烧的火焰涡流：可燃性毒性气体从低浓度至100%浓度均可用高温处理；

2. SiH4与NF3、NO2同时燃烧：SiH4与NF3、NO2可以同时于燃烧室中一起 燃烧；

3. 基本功能的安全设计：异常情况发生时，诊断机能会自动安全处理；

4. 使用刮刀方式，粉尘处理容易：燃烧室内部的附着粉尘，可使用独立的刮刀容易且确实地清除；

5. H2、LPG、天然瓦斯(LPG)各种型式：燃料气体可使用H2、LPG、天然瓦斯(LPG)3 种型式；

6. 保养简单：保养可在极短的时间内完成，费用也低廉；

7. 高信赖性：构造简单且零件数少，值得高度信赖。

二．处理气体种类

可处理气体种类包括半导体、液晶以及太阳能等行业中蚀刻制程与化学气相沉积制程中使用的特气，主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。